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장비 및 시설 기본정보
마스크얼라이너(노광기)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 마이다스시스템 |
| 모델명 | MDA-20000SA |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2018-03-06 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | - 본 장비는 대면적 OLED 면광원 조명 제작용 패턴 형성 장비로서 PR Coating후 노광하는 장비로 2세대 대면적 기판인 370mm×470mm 크기의 OLED 시제품 제작에 필수적인 backplane 제조 장비 - OLED 조명의 전극 Pattern 형성 공정 중 노광 공정에 필수 적용되는 장비로서 ITO 박막 patterning, insulating layer 형성, cathode separator 제작 공정을 처리하는 장비 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201803/20180307113324421.jpg |
| 장비위치주소 | 나노기술직접센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2018-03-242673 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201903127142 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |