| 시설장비 설명 |
Reflectron type의 mass analyzer를 사용하고 있는 독일의 ION-TOF사의 ToF-SIMS V 모델입니다. analysis 소스는 Bi를 사용하고 있으며, 에너지는 25keV로 고정되어 있습니다. analysis ion의 종류가 Bi1+, Bi3+, Bi3++ 등 다양한 이온이 사용가능합니다. 측정할 수 있는 질량범위는 1- 10000 amu 입니다. 질량분해능은 10000이상, 공간분해능은 100 nm까지 가능합니다. 절연체 샘플의 경우에도 electron flood gun으로 charging compensation하여 측정가능. Reflectron type의 mass analyzer를 사용하고 있는 독일의 ION-TOF사의 ToF-SIMS V 모델입니다. analysis 소스는 Bi를 사용하고 있으며, 에너지는 25keV로 고정되어 있습니다. analysis ion의 종류가 Bi1+, Bi3+, Bi3++ 등 다양한 이온이 사용가능합니다. 측정할 수 있는 질량범위는 1- 10000 amu 입니다. 질량분해능은 10000이상, 공간분해능은 100 nm까지 가능합니다. 절연체 샘플의 경우에도 electron flood gun으로 charging compensation하여 측정가능. |
