유동층 화학증착기
기관명 | ZEUS |
---|---|
장비번호 | |
제작사 | ㈜정민실업 |
모델명 | JMVFCVD2 |
장비사양 | |
취득일자 | 2004-09-15 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국원자력연구원 |
---|---|
보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C0 |
표준분류명 | 기타 |
시설장비 설명 | 특징 SiC TRISO 입자 제조 구성및성능 A. Vacuum furnace 1set -STS chamber dimension: dia750X1100H double wall water jacket -Vacuum pumping system/gauge: Oil rotary pump 900L/min/IC gauge -Heating element "o; 및 2"o;"o; ID 겸용) 활용분야 SiC TRISO 입자 제조 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201103/20110323152647.jpg |
장비위치주소 | 한국원자력연구원 응용연구동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2005-10-013193 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0056817 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
---|---|
ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |