코팅머신
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Nanofilm |
모델명 | BFNI-0505 |
장비사양 | |
취득일자 | 2014-05-02 |
취득금액 |
보유기관명 | 오송첨단의료산업진흥재단 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C209 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 진공 코팅 시스템은 필터링 음극 진공 아크의 박막 코팅 기술과 스퍼터링 코팅 뿐만 아니라 전처리용 이온빔 클리닝 및 에칭 기술을 컴팩트하게 결합하여 원하는 다양한 코팅 응용 프로세스를 구축하고 신뢰성과 효율성을 갖춘 펌프 시스템 특별하게 설계된 기판 픽스처 자전 및 공전 능력의 바이어스 기판 홀더 등을 이용하여 다양한 모양과 크기의 다층 박막 코팅 장비.- Coating Coverage - coating area(mm) : Ø 450 X 120(H) mm - Multi source process chamber - Turbo pump : 1500L/S - Base pressure : 5.0 X 10-7 torr - Substrate rotation speed : 10rpm - Multi-Source process chamber Size : Ø600mm X 600mm(H)- 일반적인 다양한 의료기기 시제품 광학계 렌즈의 다양한 코팅 가능 - 각종 실험용 정밀 Glass 렌즈의 다양한 코팅 가능 - 다양한 임플란트의 시제품 및 인공 슬 관절 척추 보형물 코팅 가능 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201407/.thumb/2014071412542878.JPG |
장비위치주소 | 충청북도 청주시 흥덕구 오송읍 오송생명로 123 오송첨단의료산업진흥재단 첨단의료기기개발지원센터 1층 123 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2014-07-190089 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0042594 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |