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정전유도형 파티클 집진 장치

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기관명	NDSL
출원인	주식회사 선익시스템
출원번호	10-2000-0045331
출원일자	2000-08-04
공개번호	20080509
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 반도체 및 산업용에서 사용하고 있는 각종 화학기상증착(CVD), 물리적기상증착(PVD) 공정 장치에 있어서 파티클(Particle) 발생 억제 방안의 하나인 정전유도형 파티클 집진장치에 관한 것이다. 본 발명은, 반응기체가 유입되어 반응이 일어나는 공정실과, 반응기체가 공정후에 강제 배기되는 배기관, 배기관과 펌프사이 혹은 배기관 옆 혹은 공정실에 여분으로 만들어져 있는 탈·부착형 정전유도 파티클 집진부 및, 상기 파티클 집진부에 정전 유도를 이루어지도록 해주는 전원공급장치로 구성됨을 특징으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020000045331
첨부파일

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