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그래핀 제조장치

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기관명	NDSL
출원인	에스 알 씨 주식회사
출원번호	10-2012-0065653
출원일자	2012-06-19
공개번호	20130308
공개일자	2013-02-28
등록번호	10-1238451-0000
등록일자	2013-02-22
권리구분	KPTN
초록	그래핀 제조장치가 개시된다. 본 발명에 따른 그래핀 제조장치는, 촉매기판의 재결정 온도 이상의 어닐링 온도가 유지되도록 하는 제1가열부와, 탄소 원자량 이상의 분자량을 가지는 기체 분위기가 형성되도록 스텝용가스를 공급하는 제1노즐이 형성되어, 촉매기판에 스텝구조가 형성되도록 하는 스텝형성챔버; 및 600 ~ 1100 ℃ 온도가 유지되도록 하는 제2가열부와, 스텝형성챔버를 거친 촉매기판에 탄화수소 기체를 공급하는 제2노즐이 형성되는 증착챔버를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 증착챔버 이전에 스텝형성챔버를 구비하여 그래핀 형성에 앞서 촉매기판 전체면에 나노 단위의 스텝(step)이 형성되도록 함으로써, 전구체 가스(탄화수소)의 물리흡착이 용이하게 되어 촉매작용을 촉진하며 균일 핵생성과 증착시간 단축효과를 얻을 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020120065653
첨부파일

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